1. XYZ MOTORIZED SYSTEM
1) X-AXIS
Travel Rnage : 250mm
Reapeatabilty : ±5um
Resolution : 0.1um/Pulse
모터 : 5상 스텝모터 사용
2) Y-AXIS
Travel Rnage : 150mm,
Reapeatabilty : ±5um
Resolution : 0.1um/Pulse
모터 : 5상 스텝모터 사용
3) Z,-AXIS
Travel Rnage : 50mm
Reapeatabilty : ±5um
Resolution : 0.1um/Pulse
모터 : 5상 스텝모터 브레이크 타입 사용
2. 가공품 파트
- 제진 플레이트 600x600(mm)
- 샘플 플레이트 200x600(mm)
- 샘플 홀더
- 알루미늄 프로파일 테이블
- 연결 블록
- 앵글 플레이트
- 케이블 베어 (3축 케이블 배선 정리용)
- XY 미세초점 조절용 수동 스테이지
3. XYZ MOTORIZED 컨트롤러 (USB 타입 2 Port)
- 3축 컨트롤 제어보드
- 3축 제어 시스템 배선 작업
- 3축 Stage 연결 케이블 ( X, Y, Z 축)
- 라이브러리 제공