1. XYZ MOTORIZED SYSTEM

1) X-AXIS

   Travel Rnage : 250mm
   Reapeatabilty : ±5um
   Resolution : 0.1um/Pulse
   모터 : 5상 스텝모터 사용
                                                
2) Y-AXIS

   Travel Rnage : 150mm,
   Reapeatabilty : ±5um
   Resolution : 0.1um/Pulse
   모터 : 5상 스텝모터 사용            
                
3) Z,-AXIS

   Travel Rnage : 50mm
   Reapeatabilty : ±5um
   Resolution : 0.1um/Pulse
   모터 : 5상 스텝모터 브레이크 타입 사용    
        
                            
2. 가공품 파트
                                            
 - 제진 플레이트 600x600(mm)
 - 샘플 플레이트 200x600(mm)
 - 샘플 홀더
 - 알루미늄 프로파일 테이블
 - 연결 블록
 - 앵글 플레이트
 - 케이블 베어 (3축 케이블 배선 정리용)
 - XY 미세초점 조절용 수동 스테이지


3. XYZ MOTORIZED 컨트롤러 (USB 타입 2 Port)

 - 3축 컨트롤 제어보드
 - 3축 제어 시스템 배선 작업
 - 3축 Stage 연결 케이블 ( X, Y, Z 축)
 - 라이브러리 제공