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수동 웨이퍼 얼라인 지그  [ST-WJ-100100]

수동 웨이퍼 얼라인 지그 [ST-WJ-100100]

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- 알루미늄 베이스 플레이트 1500x1500        
- 알루미늄 프로파일 지지대1500mm                                                
- 상판 플레이트                    
- 브라켓 및 기타 가공품                                                
- LED 고정 플레이트                                    
- 알루미늄 진공척 이젝터 포함

카메라부
카메라 고정 클램프
초점 조정용 Z축 도브테일 스테이지 (SD1-118-L5)
X축 이동 LM가이드 1300mm
이송용 플레이트

정밀 수동 XYR 스테이지
이송거리 ( X-Axis 5mm, Y-Axis 5mm, R-Axis 10º)
스테이지 사이즈 : XY 300x300mm 중앙 홀 105 x 105mm    
R  300x300mm 중앙 홀 100ø    
직진도 : ±15um
정지 하중 : 150k
디지매틱 마이크로미터 헤드 적용 타입

XYR 이송
X축 이동 LM가이드 1300mm
이송용 플레이트
 

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