Travel Range X : 250mm

Travel Range Z : 200mm

Accuracy : ± 20um

Max Speed : 50mm/s

XY 센서 : 1 Home 2 Limit

Motor : 스텝모터 (Z축 브레이크 타입)

Linear Scale : 0.1um

<제어 컨트롤 부사양>

2축 컨트롤 박스 , 드라이버 (PCIE) 모델 : STM-2-PCIE

PCIE 타입

2축 컨트롤 제어보드

2축 제어 시스템 배선 작업

2축 Stage 연결 케이블 (X축 , Z축)

기본 구동 프로그램 제공

라이브러리 제공