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![4인치 웨이퍼 얼라인 정렬 검사 시스템 [ST-WAAL-4in]](http://m.koreaopto.com/web/product/big/202205/d42a43cc99cd4e71984aa7c933fcc78f.jpg)
4인치 웨이퍼 얼라인 정렬 검사 시스템 [ST-WAAL-4in]
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장비 구성
1. XYZR-Axis Manual Stage
- XYZ - Axis Stroke : 13mm
- R - Axis Stroke : ±5º
- Load Capacity : 2.5kg
2. WAFER Holding Vaccum JIG
- 4in Wafer Holdeing Jig
- Vaccum Type
- 6파이 배관 포함
3. YZ-Axis Focusing Manual Stage
- Z-Axis 600mm (조미동 포커싱암 적용)
- Y-Axis 300mm (고정 클램프 포함
4. 가공품
앵글 브라켓
Post, Post Block
베이스 플레이트
5. 비전+ 카메라( 1Vision )
줌렌즈
- 배율 : 0.7x~4.5x
- 미세초점 조절 3mm
- 동축조명 포함
- 초점 미세 조절용 수동스테이지 [ 3축 ]
카메라
- 영상 카메라 (Sentech STC-MC133 동등이상, USB3.0)
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1. XYZR-Axis Manual Stage
- XYZ - Axis Stroke : 13mm
- R - Axis Stroke : ±5º
- Load Capacity : 2.5kg
2. WAFER Holding Vaccum JIG
- 4in Wafer Holdeing Jig
- Vaccum Type
- 6파이 배관 포함
3. YZ-Axis Focusing Manual Stage
- Z-Axis 600mm (조미동 포커싱암 적용)
- Y-Axis 300mm (고정 클램프 포함
4. 가공품
앵글 브라켓
Post, Post Block
베이스 플레이트
5. 비전+ 카메라( 1Vision )
줌렌즈
- 배율 : 0.7x~4.5x
- 미세초점 조절 3mm
- 동축조명 포함
- 초점 미세 조절용 수동스테이지 [ 3축 ]
카메라
- 영상 카메라 (Sentech STC-MC133 동등이상, USB3.0)
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