4 인치 마스크 정렬 시스템 [ST-JFMAL-001]

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4 인치 마스크 정렬 시스템 [ST-JFMAL-001] 

장비 구성

1 수동 스테이지 1

-   마이크로헤드 위치 : 중심

-   스테이지면(mm) : 100x100

-   스트로크(mm) : XY : ±12.5 / Z : ±12.5 / R : º ±5

-   해상도(mm) : 10 ㎛/분할(0.01)

-   이동 가이드 : 교차 롤러 베어링

-   소재 : 알루미늄

-   적재용량(kg/f) : 4

-   무게(kg) : 3.54

2 수동 스테이지 2 (VISION)

-   노브 위치 : 중앙

-   스테이지 표면(mm) : 40 X 120

-   스트로크(mm) : XYZ ± 50

-   해상도(mm) : 0.1 / 버니어

-   여행 가이드 : 0.1 / 버니어

-   소재 : 알루미늄

-   적재용량(kg/f) : 2.5

-   무게(kg) : 1.53

3 비전 파트

 줌 스테레오 비전 현미경  

  - 미세조절 3mm , 동축조명 

- 단안, 0.7~4.5배, CTV 0.5배

  - 비전현미경 고정 브라켓 [ 높이, 위치 조절 가능 ] 

  HDMI COMS

-   센서 : CMOS

-   센서 크기 : 1/2.5"

-   픽셀 크기 : 2.2um

4 마스크 4인치, 웨이퍼 3인치

 가공품 

  - AL Plate, 특수 노브 외 기타 브라켓 

  - Lens Bracket, 핸들 외 기타 가공품 포함 

 구매품 

  - 에어 호스 / Fitting 외 기타 구매품 포함 

5 Z축 빠른 이동 조그

 가공품 

  - 핸들 외 기타 가공품 포함 

6 X축 고속 이동 조그

 가공품 

  - LM가이드 / 클램프 외 기타 가공품 포함 

7 틸트 XY 스테이지

-   스테이지면(mm) : 100x100

-   스트로크(mm) : XY : ±15

-   해상도(mm) : 0.1

-   여행안내 : 도브테일 타입 웜앤기어

-   소재 : 알루미늄

-   적재용량(kg/f) : 7

-   무게(kg) : 0.96

  - XY 2축 적용